研究室の建設スペースの温度と湿度は、主にプロセスの要求に応じて決定されますが、プロセスの要件を満たす場合は人間の快適さのレベルを考慮する必要があります。 空気清浄度要件の改善に伴い、プロセスの温度および湿度の要求がますます厳しくなってきている。 温度の具体的なプロセス要件は後で述べるが、一般的な原則として、処理精度がますます向上するため、温度変動範囲の要件はますます小さくなっている。
例えば、大規模集積回路製造のリソグラフィ露光プロセスでは、ガラスとマスク材料であるシリコンウエハとの熱膨張係数の差が小さくなることが要求される。 100 umの直径のシリコンウェーハ、1度の温度上昇、0.24umの線膨張を引き起こした、それは必要な湿度値は一般的に低いですが、人々が汗をかけるので、製品は特にナトリウムの半導体工場を恐れている、このワークショップの温度は25度を超えてはならない、過剰な湿度の問題はより多くの問題を引き起こした。 相対湿度が55％を超えると、冷却水パイプ壁に結露が生じます。 精密機器や回路で発生すると、さまざまな事故が発生します。
圧力規制
大部分のクリーンルームでは、外部汚染の侵入を防ぐために、内部圧力（静圧）を外部圧力（静圧）よりも高く維持する必要があります。 圧力差の維持は、一般的に以下の原則を満たすべきである：
クリーンスペースの圧力は、クリーンでないスペースの圧力よりも高い。
高清浄度の圧力は、隣接する低清浄度の圧力よりも高い。
圧力差の維持は、この圧力差の下でギャップから漏れる空気の量を補うことができる新鮮な空気の量に依存する。 したがって、圧力差の物理的意味は、空気量がクリーンルーム内の様々な隙間を通過するときの漏れ（または浸透）に対する抵抗である。
クリーンルーム内の空気速度規制
ここで説明する気流速度は、クリーンルーム内の気流速度を指す。 特定の機器について議論する際に、他のクリーンルーム内の空気流速について説明します。
乱気流のクリーンルームの場合主に屋内汚染の程度を減らすために空気の希釈に頼っているため、速度の概念を直接使用するのではなく、空気の変化の数の概念が主に使用されますが、室内空気速度の要件。
（1）空気出口の出口での空気速度が大きすぎてはならない。 シンプルなエアコン付きの部屋と比較して、スピードの減衰が速く広がり角が大きくなります。
（2）水平面に吹き付けられる空気の流速（例えばサイドフィード時の再循環速度）は、表面粒子を吹き上がらせないように大きくしてはならない。再汚染を引き起こす。 この速度は一般的には0.2m / sほどの大きさでは推奨されません。
「一般的に層流クリーンルーム」と呼ばれる平行流クリーンルームでは、ピストンが主に空気流を用いて染色を排除するため、断面の速度は非常に重要な指標である。 過去には、米国の20gB標準が参照され、0.45が使用されていました。 ミズ。 しかし人々はまた、そのような大きなスピードに必要な換気量が非常に大きいことを知っています。 エネルギーを節約するために、彼らはまた、風の速度を低下させる可能性を模索しています。
中国では、エアクリーンテック対策とクリーンルーム設計法の両方が
垂直平行流（層流）クリーンルーム≧0.25m / s
水平平行流（層流）クリーンルーム≧0.35 m / s
騒音制御
清浄な実験室の建設のための騒音基準は、一般に、健康保護のための騒音基準よりも厳しい。 その目的は、業務が正常に行われ、必要な会話の連絡と安全で快適な職場環境が確実に達成されるようにすることです。 したがって、クリーンルーム内の騒音の主な指標は、
1.トラブルの影響
騒音のために、人々は不安を感じ、感情に苦しんでいます。 彼らは一般的に非常に静か、非常に静か、静か、わずかに騒々しい、比較的騒々しいと非常に騒々しいに分かれています。 応答のレベルが非常に騒々しく、非常に騒々しいところでは、それは高い不安であり、総数におけるトラブルの数の多い割合は高い不安率である。
2.作業効率への影響
これは、主に3つの分野における対応のレベルに依存します。 これら3つの側面は、集中力、行動の正確さ、仕事のスピード。
3.統合通信への干渉